近日，中電科風華信息裝備股份有限公司推出首款具備完全自主知識產權的第三代半導體晶圓缺陷檢測設備—Mars 4410。目前，該設備已陸續發往國內多家客戶進行使用。
Mars 4410是碳化硅器件產線中的關鍵裝備，用于對碳化硅襯底片、外延片、腐蝕片的缺陷檢測。設計團隊經過兩年不懈努力，攻克了激光散射、顯微成像等光學檢測核心關鍵技術。
設備采用差分干涉相襯、光致發光、暗場等多種檢測手段，晶圓檢測可與數據分析并行處理，晶圓缺陷可與器件失效相關聯，具有低噪聲和高分辨率成像、高檢測通量、高檢出率和準確性等優勢，能滿足提升SiC器件良率的需求。
在國家及省、市產業政策支持引導下，中電科風華加快技術攻關，推出碳化硅缺陷檢測設備，填補國內空白，打破國際壟斷，實現進口替代，積極響應我國第三代半導體產業發展的迫切需求，解決了“卡脖子”技術難題。中電科風華公司將會繼續致力于產業鏈自主化、國產化建設，為我國第三代半導體產業自主可控和高質量發展保駕護航!